射率进一步缩小。林务本认为市面上既有的193n微影透过水折射的效果要比正在攻克的157n效果会好得多。
在台光电的支持下林务本带着方案亲自跑遍美国、德国、日本等地，但无人理会，因为在如此精密的仪器中加水的想法听着就不靠谱，并且当时的光刻机厂商已将大量的研发投资押注157n干式光刻机，此时要他们再开一条技术路线，投资风险太大。
尼康甚至仗着垄断地位要求台积电雪藏林务本。最后，走投无路的林务本，遇到了雄心勃勃的as斯密特，二者一拍即合。斯密特清楚只有技术才能以小博大，要想在技术上打败尼康和佳能，新的技术路线就是机会。
状态提示： 第1694章 配合默契
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